CVD鎢管---氟化物與氯化物的對比
- 分類:鎢的知識
- 發佈於:2015年6月17日
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氟化物(WF6)CVD(化學氣相沉積)與氯化物CVD的對比發現,氟化物CVD鎢管的優點如下:
雜質含量低。大多數金屬氟化物的沸點>1000℃。所以,在恒溫條件下(20-28℃左右),WF6蒸發階段,WF6能夠實現其與其他大部分伴生雜質的分離。
還原反應:WF6 + H2 → W + 6HF (125Kj/mol)
一個標準大氣壓下,該反應在300℃以上就能夠實現;在600℃時,該反應的平衡常數已接近1。
因為該反應所需的反應溫度較低,所以可以使用一般的加熱設備(如不銹鋼等),這使得加熱設備的製作和實際操作方便了許多。即氟化物CVD方法制取鎢管階段的選擇性相對較多。
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CVD鎢管工藝原理
- 分類:鎢的知識
- 發佈於:2015年6月17日
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反應源氣體:WF6
還原氣體:H2
沉積基體:紫銅管
氣壓條件:常壓下
CVD(化學氣相沉積)鎢管工藝原理:
首先,在恒溫條件下,加熱WF6並待其氣化後,將其通入氣體混合室中使其與氫氣充分混合,然後再將其通入反應室。
通過加熱紫銅管使溫度上升至所需的沉積溫度。
WF6和H2在紫銅管表面發生化學反應,WF6被還原為W原子。這些W原子會在紫銅管表面聚集形核並長大,最終形成鎢沉積層。
WF6和H2反應的化學反應式如下:
WF6 + H2 → W + 6HF (125Kj/mol)
用氣體吸收裝置吸收被排出反應室的未發生反應的WF6、H2的剩餘氣體和生成的HF。
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化學氣相沉積的優點
- 分類:鎢的知識
- 發佈於:2015年6月17日
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因為採用CVD製備鎢管具有眾多優點,所以其受到冶金工業等相關人士的關注。
化學氣相沉積的優點:
相比粉末冶金工藝,CVD(化學氣相沉積)工藝較為簡單化且穩定,可實現一次成型,因而避免了燒結、衝壓、鍛造等工藝過程。
沉積速度快且效率高。因為難熔金屬具有原子半徑大、高熔點等特性,所以不適合採用PVD(物理氣相沉積)等製備技術---沉積效率低。
繞鍍性好。因而可以沉積獲得形狀複雜的、組織緻密的或是大型的零件和塗層。也容易實現管道內壁亦或是容器內壁的膜層沉積,還可以實現多層膜沉積和多組元合金膜層沉積。
沉積膜層的純度高、緻密度好且可以精確控制多組元合金膜層成分。
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整體硬質合金小模數滾刀
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- 發佈於:2015年6月17日
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整體硬質合金小模數滾刀主要用於小模數齒輪加工,可加工的齒輪數為國標5-7級,適用於各類金屬和非金屬材質工件。按照齒輪製造工藝的不同它的齒形包括全切式和非全切式。

目 前常用整體硬質合金小模數滾刀的類型按照直徑大小可分為φ25、φ32和φ40,它們對應的模數分別為0.4-1.0mm(φ25),0.4-2.0mm(φ32),0.4-2.0mm(φ40),加工精度等級包含三種:AAA級,AA級以及A級。特別 地,為了提高刀具的切削性能以及使用壽命,根據加工件的類型和刀具用途,整體硬質合金小模數滾刀可增加TiN,TiAlN塗層等。
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影響細顆粒紫色氧化鎢的因素(2)
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- 發佈於:2015年6月17日
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經過研究發現影響紫色氧化鎢顆粒大小的因素有原料(APT)的粒度大小和生産工藝條件。生産工藝條件包括還原溫度、升溫速度、水蒸氣與氫氣壓比、料層厚度和反應時間等。首先是水蒸氣與氫氣分壓比的影響,水蒸氣與氫氣的分壓比越大,則産物的粒度越大。這主要是因爲氫氣濕度大能形成揮發性含水氧化鎢的形成,這些氧化鎢容易在較細的顆粒上覆蓋,使得顆粒粒度增大。其次是升溫速度的影響,經實驗發現要制取細顆粒粉末升溫速度不宜過快,在管式爐中進行還原時,升溫速度取决于爐內溫度梯度和推舟速度,故减小爐內溫度梯度和推舟速度均有利于得到細顆粒紫鎢。而還原的溫度對紫鎢顆粒的影響主要是還原溫度越高則産物的粒度越大。同時還原時間也在一定程度上對紫鎢的顆粒産生影響,還原反應時間越長顆粒粒度越大。最後是料層的厚度,料層厚度越大,則産物顆粒度越大。
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