溶胶-凝胶法是一种较常用有效的纳米半导体三氧化钨粉末制备方法。它的一般过程为钨酸无机盐或金属醇盐水解，然后使其聚合并凝胶化。或者在配制的钨酸溶液体系中加入有机酸作配体，以无机酸碱对钨酸溶液体系的 p H 值进行调节。最后缓慢蒸发溶剂并得到凝胶，凝胶经过干燥及焙烧处理后得到最终产物。溶胶-凝胶方法的优点是三氧化钨产物的粒径尺寸较小、均匀性好、纯度高与适用于工业化生产。它的缺点是控制溶胶-凝胶的转变比较困难，如转变不好溶剂在烘干后凝胶易团聚，此外合成周期一般较长等。

激光烧蚀法是利用脉冲激光束的特性，将靶材在瞬间加热到气化温度以上，之后将钨箔放置在蒸馏水中，然后用激光照射钨箔同时搅拌水溶液。最后将样品经过陈化、过滤、洗涤与煅烧等过程后，即可得到树叶状三氧化钨纳米片。在此过程中将产生蒸气羽，而蒸汽羽是由靶材原子、离子和原子簇组成的，在飞行过程中与环境气体原子发生碰撞并减速，在彼此相互碰撞成核并生长成纳米颗粒。

不同的合成方法对三氧化钨的物理、化学性质有着显著的影响。因为合成方法的不同，将会直接影响所合成三氧化钨的晶体结构、粒径大小等。目前有着多种方法制备三氧化钨，但按照原料性质及反应过程的不同可大体分为：固相法、气相法和液相法。

化学沉淀法是制取三氧化钨的一种方法。化学沉淀法是在液相中利用化学反应来合成纳米三氧化钨粉末。即向反应液体系中加入所需量的沉淀剂得到前驱体沉淀物，通过干燥以及煅烧过程将前驱体转化为最终的纳米三氧化钨粉体材料。有学者利用化学沉淀法合成了添加了锌的三氧化钨粉体材料。

钨酸钠是一种溶于水、微溶于氢但不溶于乙醇，具有光泽的片状结晶或结晶粉末的化学品。钨酸钠暴露在空气中时风化，溶于水时水溶液呈微碱性，加热到100℃时会失去结晶水而成为无水物。能够与盐酸、硫酸等强酸（氢氟酸除外）发生反应生成不溶于水的黄色钨酸，而与磷酸或磷酸盐接触则会发生反应生成磷钨杂多酸络合物，与酒石酸、柠檬酸、草酸等有机酸反应生成相应有机酸络合物。

钨酸钠是一种溶于水、微溶于氢但不溶于乙醇，具有光泽的片状结晶或结晶粉末的化学品。钨酸钠的制取方法主要分为三类，具体如下：

氧化钨薄膜的表面形貌以及结构将在很大程度上影响氧化钨材料的性质与应用，微观结构的差异将使氧化钨薄膜对外表现出不同的特性，进而在氧化钨薄膜的各个应用领域得到不同的应用与发展。氧化钨葡萄状薄膜属于氧化钨薄膜的一种新型表面形貌结构。这种葡萄状结构使得氧化钨薄膜具备了更大的比表面积、特殊的晶粒尺寸等微观结构特性，有利于反应离子的注入与抽出。同时也提高了氧化钨薄膜的化学活性，加强了氧化钨薄膜内质子与金属氧化物间的反应，导致质子-电子的转换速率提高。

氧化钨作为钨的一种中间氧化物不同于具有经典化学计量比结构的化合物，其组成偏离整比性并具有点缺陷的现象，在现代材料学与固体化学中的应用有着十分重要的地位，而非化学计量比化合物（化合物中化学成分与晶体结构中不同原子所占据的比例不相符合）又是以氧化钨为例的固体化学核心之一，直接决定着氧化钨的光、电、热、声、磁学性质。所以探究氧化钨非化学计量比结构的形成原理是十分有必要的。

在氧化钨薄膜中掺入如贵金属等其他元素或化合物，使氧化钨薄膜产生特定的电学、磁学和光学性能，从而使氧化钨薄膜具有在其他领域具有实际应用价值或特定用途的过程称为掺杂。对氧化钨薄膜进行贵金属掺杂改性是提高氧化钨薄膜变色性能的一种应用广泛的重要方法，而不同的贵金属掺杂元素或化合物对氧化钨薄膜造成的优化机理及作用效果也大相径庭。

氧化钨薄膜材料作为半导体氧化物因为其出色的电学、光学性质而在光催化材料、变色材料等多个领域内有着广泛的应用，如应用于化学或机械传感器、选择性催化、环境和工业废气的检测等。

氧化钨薄膜是一种具有优异的变色性能而在智能窗、平面显示器、气敏组件、太阳能电池与储能器等许多具有开发潜力的新领域中具有广阔的应用前景的薄膜形式氧化钨的新型功能材料。不同的氧化钨薄膜具有着不同的表面形貌结构，因此各类氧化钨薄膜在性能上有着些许差异。