無粘結相純碳化鎢靶材

純碳化鎢材料由於其較高的硬度、良好的抗腐蝕性能、優異的高溫抗氧化性能，應用於表面硬質塗層領域，特別是作為製備類金剛石塗層(DLC塗層)的摻雜元素以及過渡層材料，改善了DLC塗層的內應力，增加了塗層的結合強度，提高了塗層的力學性能和摩擦學性能。

但是，純碳化鎢粉末之間的固相燒結阻力很大，在沒有粘結劑添加的情況下，很難獲得緻密度在99％以上的高緻密度材料。目前對於純碳化鎢靶材的研究都是含有粘結相，比如 TiC、TaC和Co等粘結劑成分。

而隨著對純碳化鎢需求的增大，學者們開始嘗試研究無粘結相純碳化鎢靶材的製備方法，希望籍此以滿足製備類金剛石(DLC)塗層的要求，提高了塗層的力學性能以及摩擦學性能。為實現上述目的，有學者發表了一種無粘結相純碳化鎢靶材的製備方法，其包括以下步驟：

步驟A：備料，選用費氏平均細微性為0.6-5μm，純度在99.9％以上的純碳化鎢粉末作為原料粉，過100目篩網，打破團聚、分散原料粉，以控制粉末細微性的均勻性。過篩後取篩下物填充到模具中。

步驟B：裝模，將步驟A得到的粉末按照一定的裝填方式均勻填充到特製的石墨模具內。裝填時需要控制裝填粉末的均勻性。

步驟C：熱壓燒結，將步驟B得到的已裝入粉末的石墨模具放置於熱壓爐內，進行熱壓燒結；熱壓燒結溫度介於1800-2000℃，壓制壓力介於28-40MPa，燒結溫度和壓制壓力均保持60-90min。

步驟D：脫模，燒結完畢後模具隨爐空冷，或者加入快冷裝置，冷卻到200℃以下，然後進行脫模，得到坯料；

步驟E：後續加工，即利用線切割、線鋸、磨床等加工方式將坯料加工出符合客戶尺寸和表面品質要求的成品。

通過工藝所製備的純碳化鎢靶材，無任何粘結相成分，晶粒均勻，平均晶粒尺寸5μm以下，緻密度可達到99％以上，純度在99.9％以上。性能穩定，可作為製備類金剛石(DLC)塗層的摻雜相以及過渡層材料，提高了塗層的力學性能以及摩擦學性能。

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