採用CVD（化學氣相沉積法）製備的鎢管的抗拉強度在300-500Pa左右，與電弧熔煉、粉末冶金法、電子束熔煉後旋鍛等方法製備鎢棒退火態抗拉強度相當。

對經過真空退火處理的鎢管（Φ6mm,壁厚1.5mm）進行拉伸性能測試結果顯示，其抗拉強度在380Pa左右。不同工藝沉積製備不同直徑、壁厚鎢管經真空退火處理進行拉伸性能測試，拉伸斷口形貌呈脆性沿晶斷裂。沉積製備過程存在的缺陷對鎢管抗拉性能會產生很大影響。例如，當沉積集體表面存在雜質顆粒時，鎢管表面會有缺陷，拉伸過程中，斷裂將沿該部位發生，使得鎢管抗拉強度大大下降。

 

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採用CVD（化學氣相沉積法）製備鎢管，沉積溫度控制在500℃-700℃左右。

採用切環法測量鎢管的殘餘應力的結果表明，鎢管沿圓周方向存在殘餘應力。殘餘應力的大小隨鎢管管徑的增大而降低；隨沉積溫度的升高而降低。該結果與硬度測試結果一致。

採用X射線衍射法測量結果顯示，鎢管外表面沿管徑方向的殘留應力為殘留拉應力，沿管切向、軸向的殘留應力為殘留壓應力。且經過退火處理後的鎢管，其表面殘餘應力值減小。在經過去應力退火處理後，沉積層表面沿切向、軸向的殘餘壓應力會轉變為殘餘拉應力。這將導致在某些工藝條件下，沉積鎢管在後續使用過程中會產生裂紋。

 

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不同沉積溫度條件下（500℃-700℃），採用CVD（化學氣相沉積法）製備所得的鎢管，在經溫度為1200℃、保溫時間為1h的真空退火處理後，鎢管截面顯微硬度的測量結果與未經退火處理的測量結果的對比顯示，經退火處理後的鎢管硬度下降且鎢管截面硬度值的分佈趨於均勻。得益于退火處理，鎢管的殘餘應力（由膜層沉積生長過程中柱晶相互擠壓和銅基體收縮造成的）降低了。由此可知，CVD製備鎢管的硬度可達較高（500-800HW）。

 

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採用CVD（化學氣相沉積法）製備鎢管，具有相同管徑等因素，沉積溫度在500℃-700℃之間的沉積鎢管沉積層的硬度測試結果顯示，不同沉積溫度製備所得的鎢管的硬度均高於500HW。若是管徑不同，則鎢管硬度隨著鎢管直徑的增加而降低；不同沉積溫度製備所得的沉積層鎢管的硬度隨著距沉積基體距離的增加而降低。對沉積層硬度變化的結果分析顯示，該變化與沉積結束冷卻過程產生的內應力和膜層晶體的生長有關。在基體內表面、膜層沉積生長的過程中，垂直於基體生長的柱晶相互擠壓造成沉積層內具有較大的殘餘應力。鎢管的半徑越小，柱晶相互擠壓造成的沉積層殘餘應力較大。在273-1273K範圍內，鎢、銅的平均線膨脹係數分別為4.4×10^-6K^-1、17.0×10^-6K^-1。沉積結束冷卻過程，鎢管體積收縮遠小於銅基體，這將造成沉積鎢管表面存在更大的殘餘應力。

 

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