酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究(V)
- カテゴリ: タングステン知識
- 2015年06月26日に公開
- 参照数: 1476
【酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究結論3】
(5) セルを着色する場合、低電圧駆動時は酸化タングステン膜と電解液界面での電荷移動が反応を律速する。高電圧駆動時は酸化タングステン膜中での電荷移動が反応を律速する。
(6) 多結晶W03 膜をエレクトロクロミズムで着色すると、膜はプロトンと電子が膜中に注入されて、Ho W03 の組織の多結晶膜に変わる。
(7) 実用上必要な光学密度0.5 程度の鮮明な安定した動作特性を得るためには、対向電極にも酸化タ-674-ングステン膜を用いた対称型構造の素子が適しており、酸化タングステン膜厚さを125n 以上、注入有効電荷量を15mC/cnr、印加電圧を3.0V 以下に設定する必要がある。
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酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究(IV)
- カテゴリ: タングステン知識
- 2015年06月26日に公開
- 参照数: 1543
【酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究結論2】
(2) 酸化タングステン膜は、通常非品質である。しかし直流反応性スバッタ膜及び400 以上に加熱した基板上に形成された真空蒸着膜の構造は多結晶W03 であり、酸化タングステン粉末をターゲットに用いる高周波スパッタ法では形成条件を調整するとことにより、化学量論的組成より酸素が不足したWO拙から W03 の組成を持つ微細結晶が形成される。
(3) 非晶質あるいは微細W03 結晶構造のスバッタ酸化タングステン膜のエレクトロクロミック特性は、スバッタ雰囲気の酸素濃度と全ガス圧に依存し、化学量論的組成から外れ電子注入による格子歪みが大きい比抵抗107-109Ωcm の膜で高い着色効率と速い着色応答が得られる。
(4) 酸化タングステン膜の』性質以外に着色過程を律速する因子は、透明導電膜のシート抵抗、酸化タングステン膜の厚さ,印加電圧であり、消色過程を律速する因子は、透明導電膜シート抵抗と注入電荷量である。
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酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究(III)
- カテゴリ: タングステン知識
- 2015年06月26日に公開
- 参照数: 1513
【酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究結論1】
情報化の進展に伴い、表子素子はますます重要なものとなり、その多様化が進んでいるが、非発光型素子であるエレクトロクロミック素子、特に酸化タングステンを用いる素子は、実用化に最も適した材料のーっと考えられている。
エレクトロクロミック素子に最適な酸化タングステン膜の作成法と、素子を構成する諸因子がエレクトロクロミック特性に及ぼす影響を明らかにする事を目的として行われた研究をまとめたもので、その成果を要約すると次の通りである。
(1) 膜の製法の如何によらず、基板温度とスパッタ雰囲気の酸素濃度と全ガス圧によって、決まる比抵抗と可視及び近赤外領域における透過率及び屈折率の聞には、相関関係がある。これは、いずれも酸化膜中に格子欠陥が生じ着色中心が生成されることと関連するためである。
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酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究(II)
- カテゴリ: タングステン知識
- 2015年06月26日に公開
- 参照数: 1444
【酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究内容2】
4.「直流反応性スバッタ酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性」:
金属タングステンをターゲットとし、直流電源装置を用いて反応性スバッタ法により形成される酸化タングステン膜の性質が、如何にスバッタ雰囲気の酸素濃度に依存するかを明確にした。さらに、各製法で形成された酸化タングステン膜のエレクトロクロミック特性をまとめ、エレクトロクロミック材料に適した酸化タングステン膜の物性や形成条件についての知見を得た。
5.「エレクトロクロミック特性に及ぼす緒因子の影響」:
エレクトロクロミズムの律速過程を明らかにし、エレクトロクロミックセルを流れる電流の式を導き出した。また、着色飽和した酸化タングステン膜の組成をX線解析で明らかにするとともに、注入電荷量からも考察した。さらに酸化タングステン膜着色中心濃度を求めた。
6.「エレクトロクロミックセルの特'性」:
化学スプレー法で形成される酸化スズ透明電極の物性の基板材質と膜厚依存を明確にした。また非対称型と対称型セルの動作特性を検討し、エレクトロクロミックセルの構造及び、動作条件の最適設計を行った。
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酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究(I)
- カテゴリ: タングステン知識
- 2015年06月26日に公開
- 参照数: 1537
【酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究内容1】
本研究は、酸化タングステン膜の物性とエレクトロクミック特性、エレクトロクロミズムの律速過程と着色飽和現象並びにエレクトロクロミック素子の構造及び動作条件の最適設計に関するものである。
1.「蒸着酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性」:三酸化タングステン粉末を減圧雰囲気中で加熱蒸発させ形成される酸化タングステン膜の性質の膜堆積時の基板温度依存を明確にした。
2.「高周波スバッタ酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性」:三酸化タングステン粉末を加圧成形したターゲットを用い、高周波スバッタ法により形成される酸化タングステン膜の性質が、如何にスパッタ雰囲気の酸素濃度及び全圧力に依存するかを明確にし、膜の組成と形成条件の関係について考察した。
3.「高周波反応性スバッタ酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性」:金属タングステンをターゲットとし、高周波電源装置を用いて反応性スパッタ法により形成される酸化タングステン膜の性質が、如何にスパッタ雰囲気の酸素濃度及び全圧力に依存するかを明確にした。
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