钨钼最新报价-2016年7月6日
- 分类:钨业新闻
- 发布于 2016年7月06日

英国“悔脱欧”情绪浓郁,金价虽飙涨然而解套难
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- 发布于 2016年7月06日

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《稀土行业规范条件公告管理办法》
- 分类:稀土知识新闻价格
- 发布于 2016年7月05日

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6月底有色指数较年初上升8.16%,稀土受收储提振先抑后扬
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- 发布于 2016年7月05日

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7月4日稀土指数为281点,市场积极性偏弱
- 分类:稀土知识新闻价格
- 发布于 2016年7月05日



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天然气或为我国能源转型首选,WO3脱硝催化剂控制NOx
- 分类:钨业新闻
- 发布于 2016年7月05日

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新型电解水催化剂研制出来,三氧化钨或可用
- 分类:钨业新闻
- 发布于 2016年7月05日

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主流厂家钨系指导价暂停发布,下半年钨行情弱势下行为主
- 分类:钨业新闻
- 发布于 2016年7月05日


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一种高温下不变形的钨加热子装置——钨丝加热部分
- 分类:钨专利技术
- 发布于 2016年7月05日
在生长CVD金刚石膜的过程中,钨丝安装好后都要经过长时间的碳化,将钨碳化成碳化钨,避免其在高温下会发生形变,即便如此,在长时间的工作状态下,螺旋管还是会逐渐变形弯曲然后下垂。在大型CVD系统(反应室直径大于50cm)中,为了制备大面积且均匀的膜,采用大面积栅状直拉钨丝以此来消除温度不均匀和加热丝的形变问题。但是大型CVD系统在膜生长的过程中,一般都有较大的功率和气体消耗,而且直拉热丝排布的时候,通过热丝的总电流都会很大,一般都在100安培以上,需要大功率大电流的热丝加热变压器,和相应的系统冷却装置,设备相对比较复杂,不适合做基础试验的研究。
对核心的钨丝加热部分可以通过以下改进措施解决上述问题。
1. 钨丝绕制成扁平环状,并用特质模具一次性绕制定型而成。
2.采用耐高温的氮化硼陶瓷杆(熔点大于2400℃)随钨丝进行固定。
3.将氮化硼陶瓷杆悬挂在电极上端固定好,使扁平加热钨丝整体与衬底表面保持平行。
4.新钨丝在使用前要经过应力处理。
新钨丝绕制和固定好后,在通常的生长气氛中,低温下进行较长时间的退火处理,以消除绕制和定型过程中产生的应力。升温的过程为:钨丝温度每升温100℃后,保持2小时,直到钨丝温度达到生长温度。
这个是针对钨丝绕制的具体改进措施,这种高温下不变形的加热子装置将会大大提高后续镀膜的效率。
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一种高温下不变形的钨加热子装置的使用原因
- 分类:钨专利技术
- 发布于 2016年7月05日
一种高温下不变形的钨加热子装置的组成部分包括石英管腔体9,钨丝加热部分和样品台10,其中钨丝加热部分由扁平螺旋管状的加热钨丝1、紧固钨丝2、悬挂钨丝3、氮化硼陶瓷杆4、固定用陶瓷5、和铜电极8组成。
热丝CVD系统中,化学反应的能量是靠钨丝发热提供的,衬底也是靠钨丝的热辐射而加热到一定的生长温度的,衬底表面的温度均匀性会因钨丝的形状而不同,而膜成核和生长的均匀性的一个非常重要的影响因素就是衬底表面温度的均匀性。在一般的实验室CVD小型和中型系统中,钨丝都是绕成螺线管状的钨加热子。这种绕法相对简单,每一匝都是相同的外径。但是采用螺线管状的钨丝加热子,衬底表面的温度分布没办法达到均匀的效果,以螺线管轴线的衬底表面的竖直投影线作为基准线,衬底表面离该线越远的点温度就越低,而且螺线管本身中间的温度会比两端高,这也是造成衬底表面温度分布不均的原因之一。螺线管状的钨丝加热子不但会导致衬底表面温度的不均匀,而且在CVD生长过程中,钨丝在高温下通常会发生变形,中间的高温部分弯曲下垂,导致衬底表面温度分布的均匀度更低,最终致使无法继续进行CVD生长过程,必须更换钨丝后才能继续操作。这样一来,就会对试验效果造成一定的影响。因为新的钨丝在各方面条件下都不可能和原钨丝完全一致,这必定会影响到比较性试验结果的可靠性。
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